【無塵室規劃設計服務近30年】業界高評價，無塵室受控環境使用許多不同的設備來確保清潔。清潔的最大敵人是微觀污染物，稱為顆粒物。由於微粒太小而我們看不到它們，我們不會想到它們在無塵室中可能產生的污染。停止微粒的最常見方法是通過HEPA過濾器。
恆定流量將空氣中的顆粒推出設施，並通過專用過濾器吸入空氣。這些過濾器現在稱為高效微粒空氣或HEPA過濾器。這項技術很快成為全世界半導體製造工藝不可或缺的一部分，至今仍然如此。顯然，這項技術經過多年的改進而得到了改進。發展的基本步驟之一是分類。
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